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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100

發(fā)布時間:2020-01-07 14:16:41瀏覽次數(shù):
產(chǎn)品簡介
"Regulus系列"是日立高新技術(shù)的FE-SEM的全新品牌,包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4個機型,均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。
 
 掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用于納米技術(shù),半導體?電子行業(yè),生命科學,材料科學等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來,新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料,高分子材料,復合材料等的研究作為先進科學技術(shù)的中堅技術(shù),在全世界范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價,但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外,在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。
 
本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了最優(yōu)化處理,使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20%。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm,"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外,最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大,并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。

除此之外,為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能,還對用戶輔助工能進行了強化,如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能,維護輔助功能等。

主要特點

搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍
跟前代機型相比分辨率大約提高了20%(Regulus8220/8230/8240:0.9 nm/1 kV,Regulus8100:1.1 nm/1 kV)
最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*¹
用戶輔助功能,幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來


主要參數(shù)



名稱 Regulus8100 Regulus8240/8230/8220
二次電子分辨率 0.8 nm(加速電壓 15 kV) 0.7 nm(加速電壓 15 kV)
1.1 nm(著陸電壓 1 kV)*² 0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*²
加速電壓 0.5~30 kV 0.5~30 kV
著陸電壓*² 0.1~2 kV 0.01~20 kV
倍率 20~1,000,000倍*³ 20~2,000,000倍*³
馬達臺控制 3軸自動*? 5軸自動

僅限 Regulus8240/8230/8220
減速模式觀察
*³ 127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率
*? 5軸馬達臺為選配項


注:該儀器未取得中華人民共和國醫(yī)療器械注冊證,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途

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